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DLR, Ulm - Laserlithographie-Anlage für Mikrostrukturierung

Abgeschlossen
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V. (DLR)
Ulm, DEU
Veröffentlicht: 01.07.2026

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung01.07.26
Angebotsfrist03.08.26

Beschreibung

Beschaffung einer Laserlithographie-Anlage zur Mikrostrukturierung für den Reinraum des DLR in Ulm. Die Anlage dient der direkten Lithographie auf Zielsubstraten mit hoher Auflösung und der Herstellung von UV-Lithographiemasken. Sie erweitert den bestehenden Maschinenpark für die Herstellung kompakter Quantensysteme und die Technologie kalter Atomgase. Medien und Peripherien werden separat bereitgestellt.

Lose (1)

Los LOT-0001 422/2026/9460875

Laserlithographie

Klassifizierung

CPV-Codes

38000000Labor- & Messgeräte

NUTS-Codes

DE144

Details

Angebotsfrist
03.08.2026
Referenznummer
ELVIS-ID E67746541
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49228996100
Adresse
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V. (DLR)Linder Höhe51147 KölnDEU

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