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Archive: deadline passed on 11/14/2023

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Completed

Zwickau - Westsächsische Hochschule - Laseroptisches System zur Nano-/Mikrostrukturierung

Buyer:
Westsächsische Hochschule Zwickau
Region:
08056 Zwickau, DEU
Published:
10/12/2023
Deadline
11/14/2023Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Westsächsische Hochschule Zwickau vergibt ein Laseroptisches System zur großflächigen Erzeugung periodischer Nano- und Mikrostrukturen (Nanolithographiesystem). Das System muss eine einsetzbare Substratgröße von 100mm/4" Durchmesser oder mehr ermöglichen und eine laterale Auflösung von 150nm oder kleiner erreichen. Die Belichtungszeit für einen 100mm/4" Wafer soll 2 Minuten oder weniger betragen. Die Lieferung, Installation, Einweisung und Schulung sind Teil des Auftrags. Die Vertragslaufzeit ist vom 05.12.2023 bis zum 13.06.2025.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    Laseroptisches System zur großflächigen Erzeugung periodischer Nano- und Mikrostrukturen

Classification

CPV Codes
38636100Labor- & Messgeräte
NUTS Codes
DED

Details

Deadline
11/14/2023
Platform
Bund

Contact Information

Address
Westsächsische Hochschule ZwickauKornmarkt 108056 ZwickauDEU

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