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Zwickau - Westsächsische Hochschule - Laseroptisches System zur Nano-/Mikrostrukturierung

Abgeschlossen
Westsächsische Hochschule Zwickau
08056 Zwickau, DEU
Veröffentlicht: 12.10.2023

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung12.10.23
Angebotsfrist14.11.23

Beschreibung

Die Westsächsische Hochschule Zwickau vergibt ein Laseroptisches System zur großflächigen Erzeugung periodischer Nano- und Mikrostrukturen (Nanolithographiesystem). Das System muss eine einsetzbare Substratgröße von 100mm/4" Durchmesser oder mehr ermöglichen und eine laterale Auflösung von 150nm oder kleiner erreichen. Die Belichtungszeit für einen 100mm/4" Wafer soll 2 Minuten oder weniger betragen. Die Lieferung, Installation, Einweisung und Schulung sind Teil des Auftrags. Die Vertragslaufzeit ist vom 05.12.2023 bis zum 13.06.2025.

Lose (1)

Los 1

Laseroptisches System zur großflächigen Erzeugung periodischer Nano- und Mikrostrukturen

Klassifizierung

CPV-Codes

38636100Labor- & Messgeräte

NUTS-Codes

DED

Details

Angebotsfrist
14.11.2023
Plattform
Bund

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