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Archive: deadline passed on 07/10/2026

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Completed

Zwickau - Anschaffung einer DRIE/RIE-Anlage (Plasmaätzanlage) für die Forschung

Buyer:
Westsächsische Hochschule Zwickau
Region:
Zwickau, DEU
Published:
06/04/2026
Deadline
07/10/2026Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Beschaffung einer neuen DRIE/RIE-Anlage (Plasmaätzanlage) für die Forschung an der Westsächsischen Hochschule Zwickau. Die Anlage muss für das Tiefenätzen von Silizium mittels Bosch-Prozess und das Ätzen von Dielektrika geeignet sein. Sie muss 100mm und 150mm Wafer verarbeiten können und über eine separate Beschickungskammer, He-Rückseitenkühlung, gesteuerte Gaslinien sowie einen beheizten Prozesskammer-Liner verfügen. Die Lieferung beinhaltet Installation, Inbetriebnahme und Schulung.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    Kauf einer DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage)

Classification

CPV Codes
31712330Elektrische Maschinen38000000Labor- & Messgeräte42990000Industriemaschinen
NUTS Codes
DED45

Details

Deadline
07/10/2026
Reference Number
OV 09-26
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 341 9773800
Address
Westsächsische Hochschule ZwickauKornmarkt 108056 ZwickauDEU

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