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Zwickau - Anschaffung einer DRIE/RIE-Anlage (Plasmaätzanlage) für die Forschung

Abgeschlossen
Westsächsische Hochschule Zwickau
Zwickau, DEU
Veröffentlicht: 04.06.2026

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung04.06.26
Angebotsfrist10.07.26

Beschreibung

Beschaffung einer neuen DRIE/RIE-Anlage (Plasmaätzanlage) für die Forschung an der Westsächsischen Hochschule Zwickau. Die Anlage muss für das Tiefenätzen von Silizium mittels Bosch-Prozess und das Ätzen von Dielektrika geeignet sein. Sie muss 100mm und 150mm Wafer verarbeiten können und über eine separate Beschickungskammer, He-Rückseitenkühlung, gesteuerte Gaslinien sowie einen beheizten Prozesskammer-Liner verfügen. Die Lieferung beinhaltet Installation, Inbetriebnahme und Schulung.

Lose (1)

Los OV 09-26

Kauf einer DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage)

Klassifizierung

CPV-Codes

31712330Elektrische Maschinen38000000Labor- & Messgeräte42990000Industriemaschinen

NUTS-Codes

DED45

Details

Angebotsfrist
10.07.2026
Referenznummer
OV 09-26
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 341 9773800
Adresse
Westsächsische Hochschule ZwickauKornmarkt 108056 ZwickauDEU

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