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Archiv: Frist abgelaufen am 10.07.2026

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Abgeschlossen

Zwickau - Anschaffung einer DRIE/RIE-Anlage (Plasmaätzanlage) für die Forschung

Auftraggeber:
Westsächsische Hochschule Zwickau
Region:
Zwickau, DEU
Veröffentlicht:
04.06.2026
Angebotsfrist
10.07.2026Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Beschaffung einer neuen DRIE/RIE-Anlage (Plasmaätzanlage) für die Forschung an der Westsächsischen Hochschule Zwickau. Die Anlage muss für das Tiefenätzen von Silizium mittels Bosch-Prozess und das Ätzen von Dielektrika geeignet sein. Sie muss 100mm und 150mm Wafer verarbeiten können und über eine separate Beschickungskammer, He-Rückseitenkühlung, gesteuerte Gaslinien sowie einen beheizten Prozesskammer-Liner verfügen. Die Lieferung beinhaltet Installation, Inbetriebnahme und Schulung.

Lose (1)

  • Los LOT-0001

    Kauf einer DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage)

Klassifizierung

CPV-Codes
31712330Elektrische Maschinen38000000Labor- & Messgeräte42990000Industriemaschinen
NUTS-Codes
DED45

Details

Angebotsfrist
10.07.2026
Referenznummer
OV 09-26
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 341 9773800
Adresse
Westsächsische Hochschule ZwickauKornmarkt 108056 ZwickauDEU

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