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Archive: deadline passed on 04/10/2024

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Completed

Technische Universität Ilmenau - Beschaffung UV-Lithografiesystem

Buyer:
Technische Universität Ilmenau
Region:
DEU
Published:
03/05/2024
Deadline
04/10/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt die Beschaffung eines UV-Lithografiesystems mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage für die Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie. Das System soll für maskenbasierte, deckungsgenaue Mehrebenenlithografie auf Substraten bis 150 mm Durchmesser sowie Bondalignment im Laborbetrieb geeignet sein. Die Ausschreibung erfolgt als Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage

Classification

CPV Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS Codes
DEG0F

Details

Deadline
04/10/2024
Reference Number
TU-014/24-201-ZMN
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
000
Address
Technische Universität IlmenauEhrenbergstraße 2998693 IlmenauDEU

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