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Archiv: Frist abgelaufen am 10.04.2024

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Abgeschlossen

Technische Universität Ilmenau - Beschaffung UV-Lithografiesystem

Auftraggeber:
Technische Universität Ilmenau
Region:
DEU
Veröffentlicht:
05.03.2024
Angebotsfrist
10.04.2024Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt die Beschaffung eines UV-Lithografiesystems mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage für die Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie. Das System soll für maskenbasierte, deckungsgenaue Mehrebenenlithografie auf Substraten bis 150 mm Durchmesser sowie Bondalignment im Laborbetrieb geeignet sein. Die Ausschreibung erfolgt als Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb.

Lose (1)

  • Los LOT-0001

    UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage

Klassifizierung

CPV-Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS-Codes
DEG0F

Details

Angebotsfrist
10.04.2024
Referenznummer
TU-014/24-201-ZMN
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
000
Adresse
Technische Universität IlmenauEhrenbergstraße 2998693 IlmenauDEU

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