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Archive: deadline passed on 06/30/2026

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Completed

Stuttgart - IMS Chips - Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

Buyer:
Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Region:
Stuttgart, DEU
Published:
05/27/2026
Deadline
06/30/2026Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS) vergibt eine Belackungs- und Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechselnden Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional wird ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie angeboten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag. Ziel ist die Entwicklung neuartiger Prozesse und die Realisierung von Klein- und Pilotserienfertigungen.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

Classification

CPV Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS Codes
DE111

Details

Deadline
06/30/2026
Reference Number
2026/1301
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
0721 926-8730
Address
Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen RechtsAllmandring 30a70569 StuttgartDEU

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