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Abgeschlossen

Stuttgart - IMS Chips - Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

Auftraggeber:
Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Region:
Stuttgart, DEU
Veröffentlicht:
27.05.2026
Angebotsfrist
30.06.2026Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS) vergibt eine Belackungs- und Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechselnden Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional wird ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie angeboten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag. Ziel ist die Entwicklung neuartiger Prozesse und die Realisierung von Klein- und Pilotserienfertigungen.

Lose (1)

  • Los LOT-0001

    IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

Klassifizierung

CPV-Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS-Codes
DE111

Details

Angebotsfrist
30.06.2026
Referenznummer
2026/1301
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
0721 926-8730
Adresse
Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen RechtsAllmandring 30a70569 StuttgartDEU

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