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Zurück zu AusschreibungenAlle Ausschreibungen vom 27. Mai 2026

Stuttgart - IMS Chips - Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

Abgeschlossen
Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Stuttgart, DEU
Veröffentlicht: 27.05.2026

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung27.05.26
AngebotsfristNicht verfügbar

Beschreibung

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS) vergibt eine Belackungs- und Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechselnden Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional wird ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie angeboten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag. Ziel ist die Entwicklung neuartiger Prozesse und die Realisierung von Klein- und Pilotserienfertigungen.

Lose (1)

Los 2026/1301

IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

Klassifizierung

CPV-Codes

42990000Industriemaschinen

NUTS-Codes

DE111

Details

Angebotsfrist
Nicht verfügbar
Referenznummer
2026/1301
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
0721 926-8730
Adresse
Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen RechtsAllmandring 30a70569 StuttgartDEU

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