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Completed

Stuttgart, DLR - Reaktives Ionenätzen-System für Halbleiterprozessierung

Buyer:
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart
Region:
Stuttgartt, DEU
Published:
09/06/2024
Deadline
10/17/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) in Stuttgart sucht ein System für das Reaktive Ionenätzen (RIE) zur Prozessierung von Halbleiterbauelementen in Forschung und Entwicklung. Das System muss das Ätzen von III-V-Verbindungshalbleitern (GaAs, InP) sowie dielektrischen Materialien (SiO2, Si3N4) ermöglichen. Die genauen Anforderungen sind der Leistungsbeschreibung zu entnehmen.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    Reaktives-Ionenätzen-System

Classification

CPV Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS Codes
DE111

Details

Deadline
10/17/2024
Reference Number
E83672223
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49228996100
Address
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - StuttgartLinder Höhe51147 KölnDEU

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