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Abgeschlossen

Stuttgart, DLR - Reaktives Ionenätzen-System für Halbleiterprozessierung

Auftraggeber:
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart
Region:
Stuttgartt, DEU
Veröffentlicht:
06.09.2024
Angebotsfrist
17.10.2024Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) in Stuttgart sucht ein System für das Reaktive Ionenätzen (RIE) zur Prozessierung von Halbleiterbauelementen in Forschung und Entwicklung. Das System muss das Ätzen von III-V-Verbindungshalbleitern (GaAs, InP) sowie dielektrischen Materialien (SiO2, Si3N4) ermöglichen. Die genauen Anforderungen sind der Leistungsbeschreibung zu entnehmen.

Lose (1)

  • Los LOT-0001

    Reaktives-Ionenätzen-System

Klassifizierung

CPV-Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS-Codes
DE111

Details

Angebotsfrist
17.10.2024
Referenznummer
E83672223
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49228996100
Adresse
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - StuttgartLinder Höhe51147 KölnDEU

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