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Archive: deadline passed on 10/18/2024

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Completed

Stuttgart, DLR - Direktschreiblithographie-System für Halbleiterfertigung

Buyer:
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart
Region:
Stuttgart, DEU
Published:
09/11/2024
Deadline
10/18/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) in Stuttgart beschafft ein Direktschreiblithographie-System für die Forschung und Entwicklung in der Halbleiterfertigung. Das System muss für den Betrieb in einem Reinraum der Klasse ISO 6 geeignet sein und darf keine nennenswerten Partikelemissionen verursachen.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    Direktschreiblithographie-System

Classification

CPV Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS Codes
DE111

Details

Deadline
10/18/2024
Reference Number
E52116262
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49228996100
Address
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - StuttgartLinder Höhe51147 KölnDEU

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