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Stuttgart, DLR - Direktschreiblithographie-System für Halbleiterfertigung

Abgeschlossen
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart
Stuttgart, DEU
Veröffentlicht: 11.09.2024

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung11.09.24
Angebotsfrist18.10.24

Beschreibung

Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) in Stuttgart beschafft ein Direktschreiblithographie-System für die Forschung und Entwicklung in der Halbleiterfertigung. Das System muss für den Betrieb in einem Reinraum der Klasse ISO 6 geeignet sein und darf keine nennenswerten Partikelemissionen verursachen.

Lose (1)

Los 424/2024/8095913

Direktschreiblithographie-System

Klassifizierung

CPV-Codes

38000000Labor- & Messgeräte

NUTS-Codes

DE111

Details

Angebotsfrist
18.10.2024
Referenznummer
E52116262
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49228996100
Adresse
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - StuttgartLinder Höhe51147 KölnDEU

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