Siegen, Universität - Halbautomatische Modulare Probestation für Wafer-Charakterisierung

Beschaffung einer halbautomatischen modularen Probestation für 200 mm Wafer zur Charakterisierung von RF-, DC-, Photonik-, THz- und mm-Wave-Anwendungen bei variablen Temperaturen. Die Station soll als Systemintegrationslösung für die Charakterisierung mikro- und nanoelektronischer sowie photonischer Strukturen dienen und die einfache Integration eines R&S ZC330 Range Extender sowie photonische Messungen ermöglichen. Es wird die Lieferung von Neugeräten erwartet.