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Archive: deadline passed on 07/13/2026

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Completed

München, TU - Atomic Layer Deposition (ALD)-Anlage für Forschungsarbeiten

Buyer:
Technische Universität München
Region:
Garching, DEU
Published:
06/09/2026
Deadline
07/13/2026Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Award

Contractor
CENTRO ESPECIAL TUTUELAR, S.L.
Contract value

Description

Beschaffung einer schlüsselfertigen Atomic Layer Deposition (ALD)-Anlage für Forschungsarbeiten am ZEITlab der TU München. Die Anlage muss für thermische ALD, PE-ALD und ALD für hohe Aspektverhältnisse geeignet sein und über ein integriertes Ellipsometer verfügen. Sie muss mit einer bestehenden Veeco-Fiji-Gen2-Anlage kompatibel sein. Maximale Abmessungen: 2000x1000x2000 mm. CE-Konformität und TÜV-Prüfung erforderlich. Max. Gesamtkosten: 577.000 EUR inkl. MwSt.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    Atomic Layer Deposition (ALD)-Anlage

Classification

CPV Codes
31712100Elektrische Maschinen
NUTS Codes
DE21H

Details

Deadline
07/13/2026
Reference Number
038/2026
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 8921762411
Address
Technische Universität MünchenArcisstraße 2180333 MünchenDEU

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