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Archive: deadline passed on 09/29/2025

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Completed

München, LMU - Beschaffung hybrider Plasmaätz- und Beschichtungsanlage für Quantenforschung

Buyer:
Ludwig-Maximilians-Universität München
Region:
DEU
Published:
08/27/2025
Deadline
09/29/2025Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Award

Contractor
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Contract value

Description

Die Ludwig-Maximilians-Universität München beschafft eine hybride Anlage für plasmagestütztes Ätzen und Abscheiden zur Probenherstellung in der Quantenforschung. Die Anlage muss Atomlagenabscheidung (ALD), Atomlagenätzen (ALE) und reaktives Ionenätzen (RIE) beherrschen, inklusive Bias-fähiger Elektrode und präziser Druckregelung.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage

Classification

CPV Codes
31640000Elektrische Maschinen
NUTS Codes
DE212

Details

Deadline
09/29/2025
Reference Number
MQV-Plasma
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 15733871460
Address
Ludwig-Maximilians-Universität MünchenAm Coulombwall 185748 GarchingDEU

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