Archiv: Frist abgelaufen am 29.09.2025
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Abgeschlossen
Die Ludwig-Maximilians-Universität München beschafft eine hybride Anlage für plasmagestütztes Ätzen und Abscheiden zur Probenherstellung in der Quantenforschung. Die Anlage muss Atomlagenabscheidung (ALD), Atomlagenätzen (ALE) und reaktives Ionenätzen (RIE) beherrschen, inklusive Bias-fähiger Elektrode und präziser Druckregelung.
Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage
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