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Completed

München, Fraunhofer-Gesellschaft - Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS)

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
München, DEU
Published:
12/17/2024
Deadline
01/17/2025Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht ein Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung an ein Aufdampf-Clustertool. Das Modul soll präzise dünne Oxidschichten (z.B. auf Si oder Al) mittels plasmaunterstützter Oxidation bei niedrigen Prozesstemperaturen erzeugen. Dies ist insbesondere für die Oxidation von Aluminium und die Herstellung von Quantenbauelementen mit dünnen Aluminium-Oxid Schichten (<10nm) relevant, um Qualität und Reproduzierbarkeit zu gewährleisten.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool - PR847550-2270-W

Classification

CPV Codes
31712330Elektrische Maschinen
NUTS Codes
DE212

Details

Deadline
01/17/2025
Reference Number
PR847550-2270-W
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 00000000
Address
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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