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München, Fraunhofer-Gesellschaft - Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS)

Abgeschlossen
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
München, DEU
Veröffentlicht: 17.12.2024

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung17.12.24
Angebotsfrist17.01.25

Beschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht ein Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung an ein Aufdampf-Clustertool. Das Modul soll präzise dünne Oxidschichten (z.B. auf Si oder Al) mittels plasmaunterstützter Oxidation bei niedrigen Prozesstemperaturen erzeugen. Dies ist insbesondere für die Oxidation von Aluminium und die Herstellung von Quantenbauelementen mit dünnen Aluminium-Oxid Schichten (<10nm) relevant, um Qualität und Reproduzierbarkeit zu gewährleisten.

Lose (1)

Los LOT-0000

Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool - PR847550-2270-W

Klassifizierung

CPV-Codes

31712330Elektrische Maschinen

NUTS-Codes

DE212

Details

Angebotsfrist
17.01.2025
Referenznummer
PR847550-2270-W
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 00000000
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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