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Abgeschlossen

München, Fraunhofer-Gesellschaft - Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS)

Auftraggeber:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
München, DEU
Veröffentlicht:
17.12.2024
Angebotsfrist
17.01.2025Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht ein Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung an ein Aufdampf-Clustertool. Das Modul soll präzise dünne Oxidschichten (z.B. auf Si oder Al) mittels plasmaunterstützter Oxidation bei niedrigen Prozesstemperaturen erzeugen. Dies ist insbesondere für die Oxidation von Aluminium und die Herstellung von Quantenbauelementen mit dünnen Aluminium-Oxid Schichten (<10nm) relevant, um Qualität und Reproduzierbarkeit zu gewährleisten.

Lose (1)

  • Los LOT-0000

    Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool - PR847550-2270-W

Klassifizierung

CPV-Codes
31712330Elektrische Maschinen
NUTS-Codes
DE212

Details

Angebotsfrist
17.01.2025
Referenznummer
PR847550-2270-W
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 00000000
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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