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Archive: deadline passed on 04/25/2024

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Completed

LMU München - Beschaffung Elektronenstrahllithografie-System für Quantenphysik

Buyer:
Ludwig-Maximilians-Universität München
Region:
DEU
Published:
03/21/2024
Deadline
04/25/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Ludwig-Maximilians-Universität München beschafft ein dediziertes Elektronenstrahllithografie-System. Dieses dient der nanoskaligen Strukturierung dünner Polymerfilme für die Erforschung zweidimensionaler Materialien in quantenphysikalischen Experimenten. Das System muss eine hohe Beschleunigungsspannung (mind. 50 kV), elektrostatische Strahlablenkung mit schneller Rasterelektronik (mind. 50 MHz) sowie eine hochgenaue Probenbühne mit Laserinterferometrie für Overlay und Stitching aufweisen.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    Beschaffung eines dedizierten Elektronenstrahllithografie-Systems

Classification

CPV Codes
38400000Labor- & Messgeräte
NUTS Codes
DE212

Details

Deadline
04/25/2024
Reference Number
MQV-EBL
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 15733871460
Address
Ludwig-Maximilians-Universität MünchenAm Coulombwall 185748 GarchingDEU

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