Bewirtschaftung und Instandhaltung des Laborgeräteparks - Wörth an der Donau
- Buyer:
- Eigenbetrieb Kreisklinik Wörth a. d. Donau des Landkreises Regensburg
- Region:
- Wörth an der Donau, DEU
Archive: deadline passed on 04/25/2024
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Completed
Die Ludwig-Maximilians-Universität München beschafft ein dediziertes Elektronenstrahllithografie-System. Dieses dient der nanoskaligen Strukturierung dünner Polymerfilme für die Erforschung zweidimensionaler Materialien in quantenphysikalischen Experimenten. Das System muss eine hohe Beschleunigungsspannung (mind. 50 kV), elektrostatische Strahlablenkung mit schneller Rasterelektronik (mind. 50 MHz) sowie eine hochgenaue Probenbühne mit Laserinterferometrie für Overlay und Stitching aufweisen.
Beschaffung eines dedizierten Elektronenstrahllithografie-Systems
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