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Archiv: Frist abgelaufen am 25.04.2024

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Abgeschlossen

LMU München - Beschaffung Elektronenstrahllithografie-System für Quantenphysik

Auftraggeber:
Ludwig-Maximilians-Universität München
Region:
DEU
Veröffentlicht:
21.03.2024
Angebotsfrist
25.04.2024Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Die Ludwig-Maximilians-Universität München beschafft ein dediziertes Elektronenstrahllithografie-System. Dieses dient der nanoskaligen Strukturierung dünner Polymerfilme für die Erforschung zweidimensionaler Materialien in quantenphysikalischen Experimenten. Das System muss eine hohe Beschleunigungsspannung (mind. 50 kV), elektrostatische Strahlablenkung mit schneller Rasterelektronik (mind. 50 MHz) sowie eine hochgenaue Probenbühne mit Laserinterferometrie für Overlay und Stitching aufweisen.

Lose (1)

  • Los LOT-0001

    Beschaffung eines dedizierten Elektronenstrahllithografie-Systems

Klassifizierung

CPV-Codes
38400000Labor- & Messgeräte
NUTS-Codes
DE212

Details

Angebotsfrist
25.04.2024
Referenznummer
MQV-EBL
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 15733871460
Adresse
Ludwig-Maximilians-Universität MünchenAm Coulombwall 185748 GarchingDEU

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