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Archive: deadline passed on 01/15/2024

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Completed

Hamburg, DLR - Plasmaverascher für Ionenfallentechnologie

Buyer:
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V.
Region:
Hamburg, DEU
Published:
11/30/2023
Deadline
01/15/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Beschaffung einer Plasmaverascher-Anlage für den Reinraum des Innovationszentrums Hamburg im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR. Die Anlage dient zur Herstellung und Bearbeitung von Ionenfallenchips und wird für die klassische Mikrostrukturierungsprozesskette benötigt. Sie ermöglicht das Entfernen von Fotolackmasken mittels O2-Plasmaveraschung und sanfte Plasma-Vorbehandlungen. Die Leistung umfasst Lieferung, Einbringung, Abnahme, Inbetriebnahme, Schulung sowie Service und Wartung.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    Plasmaverascher IZHH

Classification

CPV Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS Codes
DE600

Details

Deadline
01/15/2024
Reference Number
2023 / GV 7580110
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
0228 99 610 1234
Address
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V.Lilienthalplatz 738108 BraunschweigDEU

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