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Zurück zu AusschreibungenAlle Ausschreibungen vom 30. November 2023

Hamburg, DLR - Plasmaverascher für Ionenfallentechnologie

Abgeschlossen
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V.
Hamburg, DEU
Veröffentlicht: 30.11.2023

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung30.11.23
Angebotsfrist15.01.24

Beschreibung

Beschaffung einer Plasmaverascher-Anlage für den Reinraum des Innovationszentrums Hamburg im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR. Die Anlage dient zur Herstellung und Bearbeitung von Ionenfallenchips und wird für die klassische Mikrostrukturierungsprozesskette benötigt. Sie ermöglicht das Entfernen von Fotolackmasken mittels O2-Plasmaveraschung und sanfte Plasma-Vorbehandlungen. Die Leistung umfasst Lieferung, Einbringung, Abnahme, Inbetriebnahme, Schulung sowie Service und Wartung.

Lose (1)

Los 2023 / GV 7580110

Plasmaverascher IZHH

Klassifizierung

CPV-Codes

38000000Labor- & Messgeräte

NUTS-Codes

DE600

Details

Angebotsfrist
15.01.2024
Referenznummer
2023 / GV 7580110
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
0228 99 610 1234
Adresse
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V.Lilienthalplatz 738108 BraunschweigDEU

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