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Completed

Garching - Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem für Dünnfilme

Buyer:
Technische Universität München
Region:
Garching, DEU
Published:
02/16/2026
Deadline
03/19/2026Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Beschaffung eines reaktiven Magnetron Co-Sputtersystems zur Synthese von Oxid-, Oxinitrid- und Nitrid-Dünnfilmen mit kontrollierten Zusammensetzungen. Das System muss eine Sputterkammer, Magnetron-Sputterquellen, Pumpensystem, Powergeneratoren, eine automatische Wafer-Transfer-Schleuse, Dünnschichtmonitor, pneumatische Shutter, Gasdosiersystem, Computersteuerung und Software umfassen. Die Lieferung beinhaltet die Installation und Schulung.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem

Classification

CPV Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS Codes
DE21H

Details

Deadline
03/19/2026
Reference Number
040/2025
Platform
Bund, TED

Contact Information

Address
Technische Universität MünchenArcisstraße 2180333 MünchenDEU

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