Hochauflösendes Rasterkraftmikroskop mit Hard- und Software - Bayreuth
- Auftraggeber:
- Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Bayreuth
- Region:
- Bayreuth, DEU
Archiv: Frist abgelaufen am 19.03.2026
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Abgeschlossen
Beschaffung eines reaktiven Magnetron Co-Sputtersystems zur Synthese von Oxid-, Oxinitrid- und Nitrid-Dünnfilmen mit kontrollierten Zusammensetzungen. Das System muss eine Sputterkammer, Magnetron-Sputterquellen, Pumpensystem, Powergeneratoren, eine automatische Wafer-Transfer-Schleuse, Dünnschichtmonitor, pneumatische Shutter, Gasdosiersystem, Computersteuerung und Software umfassen. Die Lieferung beinhaltet die Installation und Schulung.
Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem
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