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Archive: deadline passed on 11/13/2025

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Completed

Garbsen, Leibniz Universität - Lithografiecluster Lieferung und Montage

Buyer:
Leibniz Universität Hannover
Region:
Garbsen, DEU
Published:
10/10/2025
Deadline
11/13/2025Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Leibniz Universität Hannover beabsichtigt die Beschaffung eines Lithografieclusters für die Quantentechnologieforschung. Der Auftrag umfasst Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines kompakten, integrierten Systems für Mikro- und Nanostrukturierung bis 8". Wesentliche Bestandteile sind automatische Schleuder- und Sprühbeschichtungsmodule, Entwicklungs- und Reinigungsmodule sowie Peripheriegeräte wie Beladungsstation und Roboterhandling. Besonderes Augenmerk liegt auf Reproduzierbarkeit, Flexibilität, Prozesssicherheit, Nachhaltigkeitszielen und kompakter Bauweise für Reinraumintegration. Der Auftragswert ist auf 1.600.000,00 EUR brutto begrenzt.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Lithografieclusters

Classification

CPV Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS Codes
DE929

Details

Deadline
11/13/2025
Reference Number
51.30-2025-28
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 00000000
Address
Leibniz Universität HannoverWelfengarten 130167 HannoverDEU

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