Garbsen, Leibniz Universität - Lithografiecluster Lieferung und Montage

Die Leibniz Universität Hannover beabsichtigt die Beschaffung eines Lithografieclusters für die Quantentechnologieforschung. Der Auftrag umfasst Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines kompakten, integrierten Systems für Mikro- und Nanostrukturierung bis 8". Wesentliche Bestandteile sind automatische Schleuder- und Sprühbeschichtungsmodule, Entwicklungs- und Reinigungsmodule sowie Peripheriegeräte wie Beladungsstation und Roboterhandling. Besonderes Augenmerk liegt auf Reproduzierbarkeit, Flexibilität, Prozesssicherheit, Nachhaltigkeitszielen und kompakter Bauweise für Reinraumintegration. Der Auftragswert ist auf 1.600.000,00 EUR brutto begrenzt.