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Abgeschlossen

Garbsen, Leibniz Universität - Lithografiecluster Lieferung und Montage

Auftraggeber:
Leibniz Universität Hannover
Region:
Garbsen, DEU
Veröffentlicht:
10.10.2025
Angebotsfrist
13.11.2025Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Die Leibniz Universität Hannover beabsichtigt die Beschaffung eines Lithografieclusters für die Quantentechnologieforschung. Der Auftrag umfasst Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines kompakten, integrierten Systems für Mikro- und Nanostrukturierung bis 8". Wesentliche Bestandteile sind automatische Schleuder- und Sprühbeschichtungsmodule, Entwicklungs- und Reinigungsmodule sowie Peripheriegeräte wie Beladungsstation und Roboterhandling. Besonderes Augenmerk liegt auf Reproduzierbarkeit, Flexibilität, Prozesssicherheit, Nachhaltigkeitszielen und kompakter Bauweise für Reinraumintegration. Der Auftragswert ist auf 1.600.000,00 EUR brutto begrenzt.

Lose (1)

  • Los LOT-0001

    Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Lithografieclusters

Klassifizierung

CPV-Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS-Codes
DE929

Details

Angebotsfrist
13.11.2025
Referenznummer
51.30-2025-28
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 00000000
Adresse
Leibniz Universität HannoverWelfengarten 130167 HannoverDEU

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