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Archive: deadline passed on 01/09/2025

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Completed

Friedrich-Schiller-Universität Jena - ICP-RIE-Plasmaätzanlage für kryogenes Trockenätzen

Buyer:
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Region:
DEU
Published:
12/01/2024
Deadline
01/09/2025Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Beschaffung einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage für die Strukturierung mikro- und nanooptischer Elemente. Die Anlage muss proportionales und binäres Plasmaätzen in diverse Materialien (Quarzglas, Silizium, SiOxNy, Siliziumkarbid, Ta2O5, Nb2O5 etc.) mittels Fluor-basierter Reaktivgasprozesse, auch bei kryogenen Temperaturen um -130°C, ermöglichen. Sie soll mit Beladeschleuse (Loadlock) variable Substratgrößen verarbeiten können und einen schnellen Wechsel der Substratelektrodenkühlung (Tiefkältethermostat/Flüssigstickstoff) erlauben oder eine Umrüstung ermöglichen. Weitere Details sind der Anlage 2 zu entnehmen.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.

Classification

CPV Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS Codes
DEG03

Details

Deadline
01/09/2025
Reference Number
EU-OV/2024-71
Platform
Bund, TED

Contact Information

Address
Friedrich-Schiller-Universität JenaFürstengraben 107743 JenaDEU

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