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Archiv: Frist abgelaufen am 09.01.2025

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Abgeschlossen

Friedrich-Schiller-Universität Jena - ICP-RIE-Plasmaätzanlage für kryogenes Trockenätzen

Auftraggeber:
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Region:
DEU
Veröffentlicht:
01.12.2024
Angebotsfrist
09.01.2025Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Beschaffung einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage für die Strukturierung mikro- und nanooptischer Elemente. Die Anlage muss proportionales und binäres Plasmaätzen in diverse Materialien (Quarzglas, Silizium, SiOxNy, Siliziumkarbid, Ta2O5, Nb2O5 etc.) mittels Fluor-basierter Reaktivgasprozesse, auch bei kryogenen Temperaturen um -130°C, ermöglichen. Sie soll mit Beladeschleuse (Loadlock) variable Substratgrößen verarbeiten können und einen schnellen Wechsel der Substratelektrodenkühlung (Tiefkältethermostat/Flüssigstickstoff) erlauben oder eine Umrüstung ermöglichen. Weitere Details sind der Anlage 2 zu entnehmen.

Lose (1)

  • Los LOT-0001

    ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.

Klassifizierung

CPV-Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS-Codes
DEG03

Details

Angebotsfrist
09.01.2025
Referenznummer
EU-OV/2024-71
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Adresse
Friedrich-Schiller-Universität JenaFürstengraben 107743 JenaDEU

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