Tender20 days remaining
Gerät für intermittierendes Hypoxie-Hyperoxie-Training mit Monitoring und Steuerung - Magdeburg
- Buyer:
- Universitätsklinikum Magdeburg A.ö.R.
Deadline: 10/27/2026
Archive: deadline passed on 05/19/2026
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Completed
Beschaffung einer halbautomatischen Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für hochauflösende Elektronenstrahllithografie. Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-Bake chemisch verstärkter Resists. Zu prozessierende Substrate umfassen 300mm-Wafer sowie Glas-Substrate bis 300mm x 275mm x 15mm. Die genauen technischen Anforderungen sind der Anlage 2 zu entnehmen.
Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie
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