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Archive: deadline passed on 05/19/2026

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Completed

Friedrich-Schiller-Universität Jena - Beschaffung einer Hotplate für Elektronenstrahllithografie

Buyer:
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Region:
DEU
Published:
04/13/2026
Deadline
05/19/2026Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Beschaffung einer halbautomatischen Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für hochauflösende Elektronenstrahllithografie. Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-Bake chemisch verstärkter Resists. Zu prozessierende Substrate umfassen 300mm-Wafer sowie Glas-Substrate bis 300mm x 275mm x 15mm. Die genauen technischen Anforderungen sind der Anlage 2 zu entnehmen.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie

Classification

CPV Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS Codes
DEG03

Details

Deadline
05/19/2026
Reference Number
EU-OV/2026-28
Platform
Bund, TED

Contact Information

Address
Friedrich-Schiller-Universität JenaFürstengraben 107743 JenaDEU

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