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Archiv: Frist abgelaufen am 19.05.2026

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Abgeschlossen

Friedrich-Schiller-Universität Jena - Beschaffung einer Hotplate für Elektronenstrahllithografie

Auftraggeber:
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Region:
DEU
Veröffentlicht:
13.04.2026
Angebotsfrist
19.05.2026Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Beschaffung einer halbautomatischen Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für hochauflösende Elektronenstrahllithografie. Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-Bake chemisch verstärkter Resists. Zu prozessierende Substrate umfassen 300mm-Wafer sowie Glas-Substrate bis 300mm x 275mm x 15mm. Die genauen technischen Anforderungen sind der Anlage 2 zu entnehmen.

Lose (1)

  • Los LOT-0001

    Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie

Klassifizierung

CPV-Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS-Codes
DEG03

Details

Angebotsfrist
19.05.2026
Referenznummer
EU-OV/2026-28
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Adresse
Friedrich-Schiller-Universität JenaFürstengraben 107743 JenaDEU

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