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Friedrich-Schiller-Universität Jena - Beschaffung einer Hotplate für Elektronenstrahllithografie

Abgeschlossen
Friedrich-Schiller-Universität Jena
DEU
Veröffentlicht: 13.04.2026

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung13.04.26
Angebotsfrist19.05.26

Beschreibung

Beschaffung einer halbautomatischen Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für hochauflösende Elektronenstrahllithografie. Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-Bake chemisch verstärkter Resists. Zu prozessierende Substrate umfassen 300mm-Wafer sowie Glas-Substrate bis 300mm x 275mm x 15mm. Die genauen technischen Anforderungen sind der Anlage 2 zu entnehmen.

Lose (1)

Los EU-OV/2026-28

Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie

Klassifizierung

CPV-Codes

38000000Labor- & Messgeräte

NUTS-Codes

DEG03

Details

Angebotsfrist
19.05.2026
Referenznummer
EU-OV/2026-28
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Adresse
Friedrich-Schiller-Universität JenaFürstengraben 107743 JenaDEU

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