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Completed

Freiburg, Fraunhofer-Gesellschaft - Rapid Thermal Processing (RTP) system

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
Freiburg, DEU
Published:
01/08/2025
Deadline
02/11/2025Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Fraunhofer-Gesellschaft (IAF) in Freiburg beabsichtigt die Beschaffung eines Rapid Thermal Processing (RTP) Systems. Das System muss in der Lage sein, 150 und 200 mm Wafer auf einem Suszeptor oder mehrere (50 bis 100 mm) Wafer auf einem Suszeptor zu verarbeiten. Der Temperaturbereich für die thermische Verarbeitung soll von Umgebungstemperatur bis 1450°C reichen. Als Prozessgase bei atmosphärischem Druck sind N2, Ar, N2O, NH3, O2 und Formiergas (N2/H2) vorgesehen. Alle Details der Spezifikation sind in den Vergabeunterlagen aufgeführt.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    RTP (Rapid Thermal Processing) system - PR869261 - 2050 -W

Classification

CPV Codes
42900000Industriemaschinen
NUTS Codes
DE131

Details

Deadline
02/11/2025
Reference Number
PR869261 - 2050 -W
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 00000000
Address
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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