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Abgeschlossen

Freiburg, Fraunhofer-Gesellschaft - Rapid Thermal Processing (RTP) system

Auftraggeber:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
Freiburg, DEU
Veröffentlicht:
08.01.2025
Angebotsfrist
11.02.2025Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft (IAF) in Freiburg beabsichtigt die Beschaffung eines Rapid Thermal Processing (RTP) Systems. Das System muss in der Lage sein, 150 und 200 mm Wafer auf einem Suszeptor oder mehrere (50 bis 100 mm) Wafer auf einem Suszeptor zu verarbeiten. Der Temperaturbereich für die thermische Verarbeitung soll von Umgebungstemperatur bis 1450°C reichen. Als Prozessgase bei atmosphärischem Druck sind N2, Ar, N2O, NH3, O2 und Formiergas (N2/H2) vorgesehen. Alle Details der Spezifikation sind in den Vergabeunterlagen aufgeführt.

Lose (1)

  • Los LOT-0000

    RTP (Rapid Thermal Processing) system - PR869261 - 2050 -W

Klassifizierung

CPV-Codes
42900000Industriemaschinen
NUTS-Codes
DE131

Details

Angebotsfrist
11.02.2025
Referenznummer
PR869261 - 2050 -W
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 00000000
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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