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Completed

Freiburg, Fraunhofer-Gesellschaft - ALD-Anlage für Metalloxidschichten

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2
Region:
Freiburg, DEU
Published:
10/25/2024
Deadline
11/26/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Beschaffung einer ALD-Anlage (Atomlagenabscheidung) für die Abscheidung von Metalloxidschichten, insbesondere SnOx und Al2O3, auf großformatigen Siliciumwafern (bis 210 mm x 210 mm, M12-Format) für Perowskit/Silizium-Tandemsolarzellen im Rahmen des Pero-Si-Scale Projektes. Die Anlage muss für eine einseitige Abscheidung ausgelegt sein und die Probenhandhabung in einer Glovebox ermöglichen. Gefordert ist ein Durchsatz von mindestens 6 M12-Wafern pro Stunde für 20 nm dicke SnOx-Schichten bei 80 °C. Thermische ALD-Abscheidung mit Wasserdampf ist erforderlich. Die Anlage wird in einem F&E-Umfeld eingesetzt und benötigt Flexibilität bei industrierelevanter Ausstattung und Beschichtungsfläche.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    ALD-Anlage für Metalloxidschichten - PR740152-2350-W

Classification

CPV Codes
42000000Industriemaschinen
NUTS Codes
DE131

Details

Deadline
11/26/2024
Reference Number
PR740152-2350-W
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 00000000
Address
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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