Fraunhofer IISB Erlangen - Beschaffung Digitalmikroskop für Halbleiteranalyse

Beschaffung eines Digitalmikroskops für F&E-Arbeiten im Bereich der Halbleitermaterialherstellung am Fraunhofer IISB in Erlangen. Das Gerät dient der detaillierten Analyse von Beschichtungen auf Laborproben (cm-Maßstab) und Bauteilen hinsichtlich Defektstrukturen, Oberflächenmorphologie und Schichtdicke. Ein großer Arbeitsabstand und eine Varianz an Objektiven sind erforderlich. Ein portables Makroobjektiv für die Analyse größerer Bauteile ist ebenfalls Teil der Anforderung.