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Archive: deadline passed on 04/29/2024

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Completed

Fraunhofer-Gesellschaft - TSV Galvanik System für Wafer-Beschichtung

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
DEU
Published:
03/25/2024
Deadline
04/29/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Beschaffung eines TSV Galvanik Systems zur Erzielung spezifischer Anforderungen und Abnahmekriterien während der Inbetriebnahme und Garantiezeit. Das System muss die Fähigkeit zur void-freien TSV-Befüllung auf 200mm Wafern mittels eines neuartigen Bottom-Up Cu-Galvanik-Elektrolyten nachweisen. Zusätzlich sind eine Vakuum-Vorbenetzungsstation und eine Spül- und Trocknungsstation für 200mm Wafer erforderlich.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    TSV Galvanik - PR665785-2590-W

Classification

CPV Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS Codes
DE300

Details

Deadline
04/29/2024
Reference Number
PR665785-2590-W
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 00000000
Address
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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