Tender34 days remaining
Rahmenvereinbarung zur Lieferung von Toner und Tintenpatronen - Kiel
- Buyer:
- Landeshauptstadt Kiel - Der Oberbürgermeister
- Region:
- Kiel, DEU
Deadline: 11/10/2026
Archive: deadline passed on 01/19/2024
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Completed
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, schreibt ein Trockenätzcluster (PR489013-2790-W) aus. Das Gerät soll die Abscheidung von Poly-/ α-Silicium und TEOS-Schichten ermöglichen. Weiterhin soll es das Ätzen weiterer Metalle wie Pt, Hf, W, Ge, Ni und silizidiertes Ni sowie das anisotrope Ätzen von SiO2 und Si3N4 beherrschen.
Trockenätzcluster - PR489013-2790-W
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