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Archive: deadline passed on 01/19/2024

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Completed

Fraunhofer-Gesellschaft - Trockenätzcluster PR489013-2790-W

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
DEU
Published:
12/15/2023
Deadline
01/19/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, schreibt ein Trockenätzcluster (PR489013-2790-W) aus. Das Gerät soll die Abscheidung von Poly-/ α-Silicium und TEOS-Schichten ermöglichen. Weiterhin soll es das Ätzen weiterer Metalle wie Pt, Hf, W, Ge, Ni und silizidiertes Ni sowie das anisotrope Ätzen von SiO2 und Si3N4 beherrschen.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    Trockenätzcluster - PR489013-2790-W

Classification

CPV Codes
22520000Druckerzeugnisse & Medien
NUTS Codes
DE252

Details

Deadline
01/19/2024
Reference Number
PR489013-2790-W
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
0228 99 610 1234
Address
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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