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Fraunhofer-Gesellschaft - Trockenätzcluster PR489013-2790-W

Abgeschlossen
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
DEU
Veröffentlicht: 15.12.2023

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung15.12.23
AngebotsfristNicht verfügbar

Beschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, schreibt ein Trockenätzcluster (PR489013-2790-W) aus. Das Gerät soll die Abscheidung von Poly-/ α-Silicium und TEOS-Schichten ermöglichen. Weiterhin soll es das Ätzen weiterer Metalle wie Pt, Hf, W, Ge, Ni und silizidiertes Ni sowie das anisotrope Ätzen von SiO2 und Si3N4 beherrschen.

Lose (1)

Los LOT-0000

Trockenätzcluster - PR489013-2790-W

Klassifizierung

CPV-Codes

22520000Druckerzeugnisse & Medien

NUTS-Codes

DE252

Details

Angebotsfrist
Nicht verfügbar
Referenznummer
PR489013-2790-W
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
0228 99 610 1234
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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