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Completed

Fraunhofer-Gesellschaft - Plasma-Anlage für Oberflächenmodifizierung

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
DEU
Published:
01/23/2024
Deadline
02/22/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht eine Plasma-Anlage zur Oberflächenmodifizierung von Halbleiterchips, Wafern und Substraten vor dem Bonden. Die Anlage soll reaktive Gase zur Oberflächenbehandlung einsetzen und Oxid- oder Kontaminationsschichten entfernen. Es wird ein atmosphärisches Plasma in Downstream-Konfiguration gefordert, das Ionen mit geringerer kinetischer Energie nutzt und Oberflächenzustände chemisch modifiziert.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    Plasma-Anlage - PR461710-2590-W

Classification

CPV Codes
44113810Bau- & Installationsmaterial
NUTS Codes
DE300

Details

Deadline
02/22/2024
Reference Number
PR461710-2590-W
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
0228 99 610 1234
Address
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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