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Fraunhofer-Gesellschaft - Plasma-Anlage für Oberflächenmodifizierung

Abgeschlossen
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
DEU
Veröffentlicht: 23.01.2024

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung23.01.24
Angebotsfrist22.02.24

Beschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht eine Plasma-Anlage zur Oberflächenmodifizierung von Halbleiterchips, Wafern und Substraten vor dem Bonden. Die Anlage soll reaktive Gase zur Oberflächenbehandlung einsetzen und Oxid- oder Kontaminationsschichten entfernen. Es wird ein atmosphärisches Plasma in Downstream-Konfiguration gefordert, das Ionen mit geringerer kinetischer Energie nutzt und Oberflächenzustände chemisch modifiziert.

Lose (1)

Los LOT-0000

Plasma-Anlage - PR461710-2590-W

Klassifizierung

CPV-Codes

44113810Bau- & Installationsmaterial

NUTS-Codes

DE300

Details

Angebotsfrist
22.02.2024
Referenznummer
PR461710-2590-W
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
0228 99 610 1234
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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