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Archive: deadline passed on 11/04/2024

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Completed

Fraunhofer-Gesellschaft Freiburg - Rapid Thermal Processing (RTP) System

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2
Region:
Freiburg, DEU
Published:
09/30/2024
Deadline
11/04/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Fraunhofer-Gesellschaft (IAF) in Freiburg beabsichtigt die Beschaffung eines Rapid Thermal Processing (RTP) Systems. Das System muss in der Lage sein, 150 und 200 mm Wafer oder mehrere (50 bis 100 mm) Wafer auf einem Suszeptor zu verarbeiten. Der Temperaturbereich für die thermische Verarbeitung soll von Umgebungstemperatur bis ≥1450°C reichen. Als Prozessgase bei atmosphärischem Druck kommen N2, Ar, N2O, NH3, O2 und Formiergas (N2/H2) zum Einsatz.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    RTP (Rapid Thermal Processing) system - PR677691 - 2050 -W

Classification

CPV Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS Codes
DE131

Details

Deadline
11/04/2024
Reference Number
PR677691 - 2050 -W
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 00000000
Address
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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