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Abgeschlossen

Fraunhofer-Gesellschaft Freiburg - Rapid Thermal Processing (RTP) System

Auftraggeber:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2
Region:
Freiburg, DEU
Veröffentlicht:
30.09.2024
Angebotsfrist
04.11.2024Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft (IAF) in Freiburg beabsichtigt die Beschaffung eines Rapid Thermal Processing (RTP) Systems. Das System muss in der Lage sein, 150 und 200 mm Wafer oder mehrere (50 bis 100 mm) Wafer auf einem Suszeptor zu verarbeiten. Der Temperaturbereich für die thermische Verarbeitung soll von Umgebungstemperatur bis ≥1450°C reichen. Als Prozessgase bei atmosphärischem Druck kommen N2, Ar, N2O, NH3, O2 und Formiergas (N2/H2) zum Einsatz.

Lose (1)

  • Los LOT-0000

    RTP (Rapid Thermal Processing) system - PR677691 - 2050 -W

Klassifizierung

CPV-Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS-Codes
DE131

Details

Angebotsfrist
04.11.2024
Referenznummer
PR677691 - 2050 -W
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 00000000
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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