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Archive: deadline passed on 03/25/2024

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Completed

Fraunhofer-Gesellschaft - DUV-Scanner für Siliziumwafer (300mm)

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
DEU
Published:
02/23/2024
Deadline
03/25/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht einen DUV-Scanner zur Belichtung von Siliziumwafern (300mm Durchmesser) mittels 248nm Laser und Maske. Die Anlage soll eine Auflösung von ≤110nm und einen Lagerversatz von ≤9nm erreichen und im Inline-Betrieb mit einem TRACK für Forschungs- und Industriezwecke eingesetzt werden. Dies ist Teil des FMD-QNC Investprojekts.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    DUV-Scanner - PR585361-2480-W

Classification

CPV Codes
31712100Elektrische Maschinen
NUTS Codes
DED21

Details

Deadline
03/25/2024
Reference Number
PR585361-2480-W
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 22894990
Address
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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