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Fraunhofer-Gesellschaft - DUV-Scanner für Siliziumwafer (300mm)

Abgeschlossen
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
DEU
Veröffentlicht: 23.02.2024

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung23.02.24
AngebotsfristNicht verfügbar

Beschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht einen DUV-Scanner zur Belichtung von Siliziumwafern (300mm Durchmesser) mittels 248nm Laser und Maske. Die Anlage soll eine Auflösung von ≤110nm und einen Lagerversatz von ≤9nm erreichen und im Inline-Betrieb mit einem TRACK für Forschungs- und Industriezwecke eingesetzt werden. Dies ist Teil des FMD-QNC Investprojekts.

Lose (1)

Los LOT-0000

DUV-Scanner - PR585361-2480-W

Klassifizierung

CPV-Codes

31712100Elektrische Maschinen

NUTS-Codes

DED21

Details

Angebotsfrist
Nicht verfügbar
Referenznummer
PR585361-2480-W
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 22894990
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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