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Archive: deadline passed on 03/13/2025

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Completed

Fraunhofer-Gesellschaft, Dresden - WET Clean Equipment (IPMS-CNT08.1)

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
Dresden, DEU
Published:
02/10/2025
Deadline
03/13/2025Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Ausschreibung für eine Anlage zum Reinigen und Nassätzen von Wafern (300 mm Durchmesser) mit Chemikalien auf Flüssigbasis im Single-Wafer-Modus (SWC). Die Anlage muss mindestens zwei hardwaremäßig getrennte Protokollzonen gleichzeitig bearbeiten können und folgende Prozessmedien unterstützen: dHF, SC1, SC2, dHCl, O3DIW, SPM, Königswasser, AOM, FOM, HOM. Optionale Leistungen umfassen Abwasserwärmerückgewinnung, Verdünnungsanlage für Königswasserabfälle, Online-Rezepturverwaltung, Quelleninspektion, Gewährleistungsverlängerung und Energieverbrauchserfassung.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    WET Clean Equipment (IPMS-CNT08.1) - PR866707-2480-P

Classification

CPV Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS Codes
DED21

Details

Deadline
03/13/2025
Reference Number
PR866707-2480-P
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 00000000
Address
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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