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Fraunhofer-Gesellschaft, Dresden - WET Clean Equipment (IPMS-CNT08.1)

Abgeschlossen
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Dresden, DEU
Veröffentlicht: 10.02.2025

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung10.02.25
AngebotsfristNicht verfügbar

Beschreibung

Ausschreibung für eine Anlage zum Reinigen und Nassätzen von Wafern (300 mm Durchmesser) mit Chemikalien auf Flüssigbasis im Single-Wafer-Modus (SWC). Die Anlage muss mindestens zwei hardwaremäßig getrennte Protokollzonen gleichzeitig bearbeiten können und folgende Prozessmedien unterstützen: dHF, SC1, SC2, dHCl, O3DIW, SPM, Königswasser, AOM, FOM, HOM. Optionale Leistungen umfassen Abwasserwärmerückgewinnung, Verdünnungsanlage für Königswasserabfälle, Online-Rezepturverwaltung, Quelleninspektion, Gewährleistungsverlängerung und Energieverbrauchserfassung.

Lose (1)

Los LOT-0000

WET Clean Equipment (IPMS-CNT08.1) - PR866707-2480-P

Klassifizierung

CPV-Codes

42990000Industriemaschinen

NUTS-Codes

DED21

Details

Angebotsfrist
Nicht verfügbar
Referenznummer
PR866707-2480-P
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 00000000
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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