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Completed

Fraunhofer-Gesellschaft Dresden - PVD Metal System für QMI-Verbindung

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
Dresden, DEU
Published:
08/12/2025
Deadline
09/12/2025Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Beschaffung eines PVD-Metallsystems für QMI-Verbindungen (IPMS-MRS12.1) zur Abscheidung von AlCu, Al, Ti/TiN in unabhängigen Kammern über 200-mm-Wafern. Das System wird für zwei Prozesslinienanwendungen benötigt: Abscheidung einer Metallfüllung im Inneren von TSV für die fortschrittliche Integration von MEMS-Chiplets und Metallsystem- oder Frontside-TSV-Füllungsabscheidung für QMI-Metallisierungssysteme. Die konforme Abscheidung der Barriere ist für eine optimale Kontaktqualität erforderlich. Gewünschtes Lieferdatum ist September 2027.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    PVD metal system for QMI connection (IPMS-MRS12.1) - PR926027-2480-P

Classification

CPV Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS Codes
DED21

Details

Deadline
09/12/2025
Reference Number
PR926027-2480-P
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 00000000
Address
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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