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Abgeschlossen

Fraunhofer-Gesellschaft Dresden - PVD Metal System für QMI-Verbindung

Auftraggeber:: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:: Dresden, DEU
Veröffentlicht:: 12.08.2025
Angebotsfrist: 12.09.2025Abgelaufen

Zeitplan

Bekanntmachung12.08.2025
Angebotsfrist12.09.2025

Beschreibung

Beschaffung eines PVD-Metallsystems für QMI-Verbindungen (IPMS-MRS12.1) zur Abscheidung von AlCu, Al, Ti/TiN in unabhängigen Kammern über 200-mm-Wafern. Das System wird für zwei Prozesslinienanwendungen benötigt: Abscheidung einer Metallfüllung im Inneren von TSV für die fortschrittliche Integration von MEMS-Chiplets und Metallsystem- oder Frontside-TSV-Füllungsabscheidung für QMI-Metallisierungssysteme. Die konforme Abscheidung der Barriere ist für eine optimale Kontaktqualität erforderlich. Gewünschtes Lieferdatum ist September 2027.

Lose (1)

Los LOT-0000
PVD metal system for QMI connection (IPMS-MRS12.1) - PR926027-2480-P

Klassifizierung

CPV-Codes: 42990000Industriemaschinen
NUTS-Codes: DED21

Details

Angebotsfrist: 12.09.2025
Referenznummer: PR926027-2480-P
Plattform: Bund, TED
Quelle: Originalquelle

Kontaktinformationen

Telefon: +49 00000000
Adresse: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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Fraunhofer-Gesellschaft Dresden - PVD Metal System für QMI-Verbindung

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