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Fraunhofer-Gesellschaft Dresden - PVD Metal System für QMI-Verbindung

Abgeschlossen
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Dresden, DEU
Veröffentlicht: 12.08.2025

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung12.08.25
AngebotsfristNicht verfügbar

Beschreibung

Beschaffung eines PVD-Metallsystems für QMI-Verbindungen (IPMS-MRS12.1) zur Abscheidung von AlCu, Al, Ti/TiN in unabhängigen Kammern über 200-mm-Wafern. Das System wird für zwei Prozesslinienanwendungen benötigt: Abscheidung einer Metallfüllung im Inneren von TSV für die fortschrittliche Integration von MEMS-Chiplets und Metallsystem- oder Frontside-TSV-Füllungsabscheidung für QMI-Metallisierungssysteme. Die konforme Abscheidung der Barriere ist für eine optimale Kontaktqualität erforderlich. Gewünschtes Lieferdatum ist September 2027.

Lose (1)

Los LOT-0000

PVD metal system for QMI connection (IPMS-MRS12.1) - PR926027-2480-P

Klassifizierung

CPV-Codes

42990000Industriemaschinen

NUTS-Codes

DED21

Details

Angebotsfrist
Nicht verfügbar
Referenznummer
PR926027-2480-P
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 00000000
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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€
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