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Archive: deadline passed on 07/15/2026

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Completed

Fraunhofer-Gesellschaft Dresden - Plasmaätzsystem für Wafer

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
Dresden, DEU
Published:
06/10/2026
Deadline
07/15/2026Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt ein vollautomatisches Plasmaätzsystem für Wafer mit 300 mm Durchmesser aus. Das System ist für die Bearbeitung von Silizium-CMOS-Wafern in Reinraumklasse 1000 bestimmt und dient zur Strukturierung von Silizium und verwandten Materialien mit hohem Aspektverhältnis. Optionale Positionen sind gemäß technischer Spezifikation möglich.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) - PR1153448-2480-P

Classification

CPV Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS Codes
DED21

Details

Deadline
07/15/2026
Reference Number
PR1153448-2480-P
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 00000000
Address
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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