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Archive: deadline passed on 05/12/2025

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Completed

Fraunhofer-Gesellschaft Dresden - DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers)

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
Dresden, DEU
Published:
04/11/2025
Deadline
05/12/2025Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, schreibt einen DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) für den Standort Dresden aus. Der Auftrag umfasst die Lieferung und Integration von drei Ätzkammern (IPMS-MRS07.1, IPMS-MRS07.2, IPMS-MRS08.1, IPMS-MRS08.2) für verschiedene Ätzprozesse wie tiefes Silizium-Ätzen, Oxid-Ätzen und Nitrid-/Poly-Si-Ätzung. Optionale Leistungen wie erweiterte Gewährleistung und Werkzeugabnahme sind ebenfalls Teil der Ausschreibung.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) (IPMS-MRS07.1; IPMS-MRS07.2; IPMS-MRS08.1; IPMS-MRS08.2) - PR882587-2480-P

Classification

CPV Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS Codes
DED21

Details

Deadline
05/12/2025
Reference Number
PR882587-2480-P
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 00000000
Address
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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